微波ECR等离子体溅射沉积TiN薄膜的研究

微波ECR等离子体溅射沉积TiN薄膜的研究微波 等离子体溅射沉积 薄膜的研究 ECR T iN 汪建华 邬钦崇 任兆杏 () 武汉化工学院() 中国科学院等离子体物理研究所() 摘 要 用微波电子回旋