基于柔性关节的多维高频激振台设计研究

基于柔性关节的多维高频激振台设计研究在当前微电子领域中，高频激振台已成为测试芯片性能的关键设备之一，其性能的优异与否，不仅关乎到产品的品质和市场的需求，还会直接影响到整个行业的发展。随着芯片工艺技术的