离子束辅助沉积技术制备耐磨抗蚀膜层的研究进展

离子束辅助沉积技术制备耐磨抗蚀膜层的研究进展离子束辅助沉积（Ion Beam Assisted Deposition, IBAD）技术是一种通过利用离子束来调控薄膜沉积过程的技术。它结合了物理沉积和离