超精密数控机床控制系统技术方案

超精密数控机床控制系统技术方案1、系统组成超精密数控机床系统主要有三个部分：主轴、横向进给机构、纵向进给机构。其平面布局如图1所示。图1 超精密数控机床平面布局示意图 主轴由空气磁力轴承支承，用