不同氮气流量AlCrTaTiZr高熵合金氮化物薄膜扩散阻挡性能研究

不同氮气流量AlCrTaTiZr高熵合金氮化物薄膜扩散阻挡性能研究不同氮气流量AlCrTaTiZr高熵合金氮化物薄膜扩散阻挡性能研究摘要：高熵合金是一种以五种或更多元素组成的合金，并且元素的摩尔配比相