PDMS芯片的加工方法及所用仪器的操作

PDMS微流控芯片的制作  1 Plasma。取洁净的硅片置于等离子体清洗机（plasma clean）进行处理（增加硅片与光刻胶的粘着性）。 2 匀胶。将处理好的硅片置于匀胶机平台中央位置，倒上