精密磁浮运动系统电磁力的非线性建模分析

精密磁浮运动系统电磁力的非线性建模分析一、前言精密磁浮运动系统广泛应用于高精度设备领域，例如定位、制造、半导体生产等方面。精密磁浮运动系统电磁力的非线性建模是其研究中的一个重要问题。本文将对精密磁浮运