微型加速度传感器原理

加速度传感器是一种惯性传感器，一般由敏感元件、交换元件、测量电路三部分组成，可用如下框图表示：根据传感器敏感元件和转换原件的不同，加速度传感器可以分为电容式、压电式、光纤式、压阻式等类型。电容式加速度