高g值条件下MEMS微构件动态特性测试装置的研制的开题报告

高g值条件下MEMS微构件动态特性测试装置的研制的开题报告一、研究背景高加速度环境下MEMS微构件动态特性测试是微电子领域研究的一个重要方向。随着科技和工业的发展，越来越多的应用需要能够在高g值环境下