氩气、氮气对纳米金刚石膜形貌及结构的影响研究

氩气、氮气对纳米金刚石膜形貌及结构的影响研究摘要：本文通过对纳米金刚石膜在氩气和氮气环境下进行处理，研究了其形貌和结构的变化。结果表明，氮气环境下处理会导致纳米金刚石膜的表面出现大量的缺陷和裂纹，并且