铝镓氮半导体薄膜制备及场发射性能研究的任务书

铝镓氮半导体薄膜制备及场发射性能研究的任务书任务书：一、研究目的与背景随着半导体技术的不断发展，铝镓氮（AlGaN）材料因其在紫外光、金属间化合物（MOCVD）和高速电子学等领域的应用而备受关注。其中