在r面蓝宝石上生长的a面掺硅GaN的光学和电学性质研究

在r面蓝宝石上生长的a面掺硅GaN的光学和电学性质研究在r面蓝宝石上生长的a面掺硅GaN的光学和电学性质研究摘要：宽禁带半导体氮化镓（GaN）在光电领域具有重要的应用价值。本文研究了在r面蓝宝石衬底上