附件3-原子层沉积系统技术需求-068doc

附件3-原子层沉积系统技术需求-068doc附件3 技术指标 1、 真空腔 1) 真空腔室外腔室采用304不锈钢材质，沉积腔室采用进口阳极氧化铝材质，-7 无焊接，漏率小于5*10Pa.L/s 2)