4H-SiC外延材料缺陷检测和分析

摘要 103em之、1．13 摘 要 本文通过化学腐蚀与扫描电子显微分析相结合的方法对4H．SiC外延材料中的 缺陷进行了检测与分析。目的是确定重复性好的4H．SiC腐蚀工艺，表征4H．SiC 同质外