硅片超精密磨削减薄工艺基础研究的任务书

硅片超精密磨削减薄工艺基础研究的任务书任务书一、题目硅片超精密磨削减薄工艺基础研究二、研究目的与意义硅片作为集成电路、光电子器件等微电子元器件的核心材料，已经成为现代高科技产业中的关键材料之一。硅片制