高效多晶硅铸锭中石英坩埚涂层的制备及应用

高效多晶硅铸锭中石英坩埚涂层的制备及应用摘要：本文主要探讨了高效多晶硅铸锭中石英坩埚涂层的制备及应用。首先介绍了多晶硅铸锭的制备原理和目前的应用情况。接着详细介绍了石英坩埚涂层的制备方法，包括物理气相