磁控溅射SiGe薄膜的制备工艺及性能研究中期报告

磁控溅射SiGe薄膜的制备工艺及性能研究中期报告磁控溅射SiGe薄膜制备工艺及性能研究中期报告1. 研究内容本文研究了磁控溅射制备SiGe薄膜的工艺及性能。主要包括以下三个方面：1.1 工艺优化通过调