氢化非晶硅膜厚分布优化及TFT性能研究

氢化非晶硅膜厚分布优化及TFT性能研究                     摘要：氢化非晶硅薄膜因具有优良的光学特性和物理特性，被广泛应用于太阳能电池、传感器和大面积平板显示等领域。本文采用等离子