微电子级聚酰亚胺薄膜线膨胀系数测定方法研究

微电子级聚酰亚胺薄膜线膨胀系数测定方法研究微电子级聚酰亚胺薄膜是一种重要的高性能材料，广泛应用于微电子器件、电子封装、光学元件等领域。研究微电子级聚酰亚胺薄膜的线膨胀系数是十分必要的，因为线膨胀系数是