基于脉冲反向函数的电化学沉积高深宽比金纳米结构研究

基于脉冲反向函数的电化学沉积高深宽比金纳米结构研究电化学沉积金微纳米结构在微电子、MEMS和光电子等领域应用广泛,但传统的氰化物镀液污染大,废液处理困难,现己被许多国家禁止使用。而无毒的亚硫酸金盐镀液