AlN晶体的离子注入掺杂及缺陷研究的中期报告

AlN晶体的离子注入掺杂及缺陷研究的中期报告本次研究以AlN晶体为研究对象，研究离子注入掺杂及缺陷情况。研究分为两个部分：离子注入掺杂实验及缺陷分析。离子注入掺杂实验中，我们选择了两种离子，分别为氮(