锆钛酸铅PZT薄膜制备及氢气退火研究综述报告

锆钛酸铅PZT薄膜制备及氢气退火研究综述报告锆钛酸铅（PZT）薄膜是一种电致形变陶瓷材料，具有良好的压电和铁电性能，已被广泛应用于传感器、微机电系统（MEMS）、声波滤波器等领域。本综述报告将对PZT