一种刻蚀金属钨材料的方法

一种刻蚀金属钨材料的方法专利名称：一种刻蚀金属钨材料的方法技术领域：本发明属于微电子机械系统(MEMQ工艺技术领域，特别涉及一种各向异性、高速率干法刻蚀金属钨体材料的方法。背景技术：在MEMS器件加工