纳米集成电路用大直径硅与硅基材料的研究进展

纳米集成电路用大直径硅与硅基材料的研究进展 摘 要:长期以来,半导体硅材料对信息产业发展起到了决定性的作用。当前纳米集成电路发展起来,使用硅基材料,器件功耗有所降低,运行速度提升,各种负面影响