功率半导体器件热阻测试装置制造方法

功率半导体器件热阻测试装置制造方法功率半导体器件热阻测试装置制造方法本实用新型公开了一种功率半导体器件热阻测试装置，其特征在于，包括：金属散热基板，用于保证无引脚芯片载体器件进行良好散热，由上基板和下