第12章光刻掩膜光刻胶和光刻机ppt课件

- 光刻是一种图象复印的技术，是集成电路制程中一项关键的工艺技术。在整个工艺流程中，光刻的步骤占到50％以上，其成本占总制造成本的1/3以上。 - 光刻：Phot