2021年任意面形介质光栅的衍射特性分析

任意面形介质光栅的衍射特性分析 任意面形介质光栅的衍射特性分析 采用严格耦合波理论(RCWA)和多层近似法,详细的推导了任意面形介质光栅的衍射问题,得出了其矩阵求解方程,并采用增强透射矩阵法来避免直接