基于深刻蚀SiO_2脊型波导的紧凑型多模干涉功分器

基于深刻蚀SiO_2脊型波导的紧凑型多模干涉功分器光 子 学 报 第 37 卷第 11 期 Vol . 37 No . 11 2008 年 11 月No ve mbe r 2008A C TA P H