实验名称椭圆偏振法测量薄膜厚度和折射率一

实验名称：椭圆偏振法测量薄膜厚度和折射率(一)引言： 椭圆偏振法广泛地应用于固体基片上介质薄膜的测量。在己有测定薄膜厚度的方法中，它是能测量到最薄和精度最高的一类。测量范围从0. 1 nm到几