厚薄膜材料与器件薄膜制备的基础理论课件

- 第二章 薄膜的基础理论 - 第一节 薄膜的形成 薄膜的制造方法可以分为：  物理方法;  化学方法．现以物理气相沉积 (PVD) 为例讨论薄膜的形成过