自顶向下贯穿腐蚀制备空腔型FBAR的方法

自顶向下贯穿腐蚀制备空腔型FBAR的方法标题：自顶向下贯穿腐蚀制备空腔型FBAR的方法摘要：腐蚀技术是一种常用于纳米器件制备的方法。利用化学反应，可以在材料表面形成空腔结构，从而实现各种纳米器件的制备