金属氧化物薄膜的多离子束反应共溅射模型(Ⅱ)——数值计算与结果讨论

金属氧化物薄膜的多离子束反应共溅射模型(Ⅱ)——数值计算与结果讨论摘要：本文基于多离子束反应共溅射技术对金属氧化物薄膜的生长机理进行研究，并建立了相关的数学模型，采用数值计算的方法得到了相应的结果。结