掺杂计算-理论与实践ppt课件

- 什么是拉單晶摻雜劑- - 母合金﹖ - 所谓“母合金”就是杂质元素与硅的合金，常用的母合金有硅磷和硅硼两种，杂质浓度是10的-2次方和10的-3次方