倾斜溅射和Nd掺杂对CoZr薄膜高频软磁性能的影响的中期报告

倾斜溅射和Nd掺杂对CoZr薄膜高频软磁性能的影响的中期报告摘要：本中期报告研究了倾斜溅射和Nd掺杂对CoZr薄膜高频软磁性能的影响。通过倾斜溅射技术制备的CoZr薄膜表现出优异的高频软磁性能，当倾斜