中束流离子注入的束流强度改进研究

中束流离子注入的束流强度改进研究随着科学技术的不断发展，离子注入技术越来越成熟，被广泛应用于材料工程、电子工程、医学等领域。其中中束流离子注入技术在材料微结构改善、表面性能改进、失效机制研究等方面具有