日立S4800扫描电镜中文使用手册

一、介绍Hitachi S-4800 场发射扫描电镜采用了新型 ExB 式探测器和电子束减速功能,提高了图象质量(15 kV 下分辨率 1 nm)， 尤其是将低加速电压下的图象质量提高到了新的水平(1