热退火和飞秒激光对磷、硼杂质激活率的影响

热退火和飞秒激光对磷、硼杂质激活率的影响标题：热退火和飞秒激光对磷、硼杂质激活率的影响摘要：杂质激活是半导体制备过程中至关重要的步骤，它能够增加杂质的浓度并改善半导体的电学性能。本文研究了热退火和飞秒