数字散斑干涉术测物面形变
数字散斑干涉术测物面形变引言:数字散斑干涉术(DSPI)是一种非接触、无损、高精度测量物体形状、位移等表面参数的实验方法。其原理是利用激光干涉原理,将激光从光源经过分束器分成两道光路,入射到物体表面后
数字散斑干涉术测物面形变