硅NPN平面三极管工艺参数设计及管芯制作

硅NPN平面三极管工艺参数设计及管芯制作四川 成都 四川大学 物理学院 微电子学 刘威摘要：本文简述了三极管各项参数的设计过程，详细描述了npn三极管的制作过程和各工艺步骤，并对三极管阶段性参数（如