蓝宝石衬底基片工艺检测质量指标、方法及设备的研究进展

蓝宝石衬底基片工艺检测质量指标、方法及设备研究                        蓝宝石（α-Al203）晶体具有硬度高（莫氏９级）、熔点高（2045℃）、光透性好、热稳定性好、化学性质稳