铝钪合金靶材的制备及退火工艺研究

铝钪合金靶材的制备及退火工艺研究铝钪合金靶材的制备及退火工艺研究摘要:铝钪合金靶材具有优异的机械性能和热稳定性，广泛应用于电子设备、光学薄膜等领域。本研究采用真空熔炼和高温真空热处理的方法，制备了铝钪