MEMS介质的介电应变特性研究的综述报告

MEMS介质的介电应变特性研究的综述报告MEMS介质是一种微型机械系统（MEMS）的重要组成部分，它由一种介电材料制成，具有很好的介电特性和机械稳定性，被广泛应用在传感器、执行器、滤波器以及无线通信等