基于显微干涉术与AFM的薄膜力学性能表征方法及系统研究的任务书

基于显微干涉术与AFM的薄膜力学性能表征方法及系统研究的任务书一、任务背景随着材料科学与工程技术的发展，薄膜材料在制造高性能电子元器件、光学器件、机械器件等方面已经得到广泛应用。如何准确地表征薄膜材料