光阻主要可分为正光阻及负光阻二种

光阻主要可分为正光阻及负光阻二种,正光阻就是被光照射的部份可以被显影液去除掉,而未曝光的光阻则不会被显影液去除(左边)。而负光阻则相反,被光照射的部份不会被显影液去除,而其余不被光所照射的区域将会被显