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晶圆BPM管理平台软件说明书文件状态：【 】草稿【 】正式发布【√】正在修改工程名称晶圆BPM管理平台文档名称使用说明书文件标识当前版本V1.0作者李福忠完成时间2023-1-5页数密级中湖南大学

晶圆BPM管理平台 软件说明书 文件状态： 工程名称 晶圆BPM管理平台 文档名称 使用说明书 【】草稿 文件标识 当前版本 V1.0 【】正式发布 作者 李福忠 完成时间 2023-1-5 【√】正在修改 页数 密级 中 湖南大学信息科学与工程学院 2023年5月 文档控制 修改记录 1