高灵敏度铂薄膜热敏电阻器精细刻蚀技术研究

高灵敏度铂薄膜热敏电阻器精细刻蚀技术研究高灵敏度铂薄膜热敏电阻器精细刻蚀技术研究摘要：本文通过研究高灵敏度铂薄膜热敏电阻器的精细刻蚀技术，介绍了一种基于激光刻蚀和化学腐蚀两种技术相结合的刻蚀方法，该方