上虞晶盛单晶炉操作说明书

第一章单晶生长条件1.1设备要求1丄1运行条件（以下以TDR-85A-ZJS炉为例，其余炉型要求参照说明书）（1） 冷却水要求水压：炉子进出水压差要求介于2〜3公斤之间，真空泵进出水压差要求1.5公斤