硅基悬空结构微纳热电器件研究的开题报告

硅基悬空结构微纳热电器件研究的开题报告开题报告：一、研究背景近年来，微纳热电器件领域的研究逐渐受到人们的重视。热电效应是一种将热能直接转化为电能的现象，热电材料的发展和应用，既有应对环境问题的需求，又