化学气相沉积硫化锌中六方相形成机制及抑制方法分析

化学气相沉积硫化锌中六方相形成机制及抑制方法分析摘要：化学气相沉积（Chemical Vapor Deposition，CVD）是一种重要的工业制备薄膜、多晶等材料的一种技术。硫化锌六方相是一种重要的