射频放电等离子体中尘埃颗粒的分布特性研究的开题报告

射频放电等离子体中尘埃颗粒的分布特性研究的开题报告一、研究背景射频放电等离子体广泛运用于工业生产和科学研究中，因其具有高效、节能、环保等特点而备受关注。然而，等离子体中存在的微观尘埃颗粒将影响等离子体